레이저 플로브 헤드
레인보우 플로브
TTL 레이저
접촉식 플로브
회전 테이블
QVI® Rainbow Probe™
- 고해상도 비접촉 측정방식
- 다른 센서들은 할 수 없는 액체나 쉽게 변형되는것들도 쉽게 측정 가능
- 거리 또는 두께를 선택할 수 있는 이중 측정 모드
- 자신에게 맞는 응용프로그램을 고를 수 있음
- 다중 센서 통합
Specifications
| Probe model | CL1 | CL2 | CL3 | CL4 | CL5 | CL6 | |||||||||
Required metrology software | ZONE3, MeasureMind 3D or VMS | ||||||||||||||
| Measuring range | 150 µm | 400 µm | 1.4 mm | 4 mm | 12 mm | 24 mm | |||||||||
Working distance (mm) | 3.3 | 11 | 12 | 16 | 26 | 21 | |||||||||
| Numerical aperture | 0.71 | 0.46 | 0.41 | 0.32 | 0.20 | 0.12 | |||||||||
Probe barrel diameter (mm) | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | |||||||||
| Max data rate (samples/sec) | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | |||||||||
Axial resolution2,3 (µm) | 0.005 | 0.012 | 0.025 | 0.075 | 0.280 | 0.600 | |||||||||
| Max object slope6 (deg) | ± 43 | ± 28 | ± 25 | ± 21 | ± 14 | ± 8.5 | |||||||||
Magnifier model | MG210 | MG140 | MG210 | MG140 | MG70 | MG140 | MG70 | MG35 | MG20 | MG35 | MG20 | MG35 | MG20 | ||
| Spot size diameter (µm) | 2.4 | 3.2 | 3.5 | 4.6 | 8.1 | 6 | 10.8 | 10.7 | 17.6 | 19.6 | 32.8 | 18.6 | 30.5 | ||
| Lateral resolution (µm) | 1.1 | 1.3 | 1.7 | 1.8 | 3.7 | 2.6 | 4.5 | 4.6 | 7 | 11 | 14 | 11 | 18 | ||
| Min measurable thickness (µm) | 7 | 9 | 14 | 14 | 22 | 38 | 40 | 110 | 120 | 350 | 550 | 590 | 725 | ||
